聯(lián)系人：蔣經(jīng)理
手機(jī)：15359273790
電話：15359273790
Q Q：3549711439
郵箱：3549711439@qq.com
地址：廈門市思明區(qū)呂嶺路1733號(hào)2009單元
AMAT 0200-35048
設(shè)備工作原理
核心組件及功能
工作原理
Siemens 6ES7 354-1AH01-0AE0 6ES7354-1AH01-0AE0 E-Stand: 02 TOP ZUSTAND
BOPLA LABOR TISCHGEH?USE UM 52011 L-SET + ALU-FRONTPLATTE 2MM UNUSED & OVP
Siemens Sinumerik 840D NCU-Box 13A 6FC5247-0AA00-0AA3 Vers. A TESTED & NEUWERTIG
Trumpf Hüttinger Steuerteil LS3 13.56MHz Flow 11-44kW C nur Einschub OVP
Cognex IS7210 Kamera P/N: 825-0552-1R C KCC-REM-CGX-1AAA TOP ZUSTAND
Siemens Sinamics PM 240-2 6SL3210-1PE31-5AL0 75kW 400V TESTED & NEUWERTIG
KSB 3011K00BH0000 Pump Drive 11KW 26,5A 400V TESTED TOP ZUSTAND
Siemens 6ES5 375-1LA61 6ES5375-1LA61 MEMORY MODULE UNUSED OVP & SEALED
Omron LY2N Power Relais Sicherheitsrelais 24VDC TOP ZUSTAND
Siemens Simatic S5 6ES5 375-0LD21 Memory Module NEUWERTIG
Siemens Profibus Stecker 6ES7 972-0BB12-0XA0 E.-04 TOP ZUSTAND
SEW Movitrac B MC07B0008-5A3-4-00 0,75kW 400V TESTED & TOP ZUSTAND
Siemens Sinumerik 6FX1126-6BB00 RAM MODULE UNUSED
Siemens Simodrive 6FX1138-4BA01 5703849101.01 UNUSED & OVP
Knick Typ 12310A DC-Trennverst?ker 12310 A
Siemens Sinumerik 840D Technologie-PC-Card 6FC5270-6AX30-3AH0 NEUWERTIG
VOITH Hydraulic SLE02.1-132/150-G5-782-1/0R24/0 Hydraulic System UNUSED
Fanuc Servo Amplifier A06B-6250-H018 Version D TOP ZUSTAND
Leroy Somer (Nidec Corp.) Commander C300-064 00470 A TESTED & UNUSED & OVP
Siemens Servomotor 1FT6062-6AF71-4AA2 TESTED & UNUSED
ABB DSQC 643 3HAC024488-001 DSQC643 NEUWERTIG
Siemens 6RA 8261-2 C98043-A1098-L2-28 Top Zustand
Siemens Sinumerik 840D NCU Systemsoftware 12Axes 6FC5250-6BX30-4AH0 NEUWERTIG
Siemens C98043-A1002-L3 Simoreg Steuerplatine Top Zustand
SEW Eurodrive DFP 21B 08242402 DFP21B TESTED & TOP ZUSTAND
Bender Isometer IR425 IR425-D4-1 Isolationsüberwachungsger?t NEUWERTIG
Siemens Sinumerik CPU 6FC5110-0BA01-1AA0 6FC5 110-0BA01-1AA0 UNUSED & OVP
Beckhoff Servo Drive AX2006 S60600-520 6A TESTED & TOP ZUSTAND
Fanuc Spindle Amplifier Module A06B-6122-H030#H570 480V 35kW 70A NEUWERTIG
ABB IRC5 DSQC639 3HAC 025097-001/15 + DSQC678 3HAC033556-001 TESTED
Siemens Simodrive 6SN1118-0DH23-0AA1 Regelungseinschub Vers.D TESTED & NEUWERTIG
HBM Messtechnik Me?verst?rker Baldwin MVD2510 MVD 2510 + OETIKER Type D221 TOP
Mitsubishi Servo Amplifier MR-J4-200B-RJ NEUWERTIG & OVP
Siemens S5 6ES5 456-7LA11 6ES5456-7LA11 Digital out 16x115/230V AC 1A
Leroy Somer (Nidec Corp.) Unidrive SP5401 55/75 kW TESTED & UNUSED & OVP
Rexroth 4WRSEH 6C-B5/662 MNR: R900230163 TOP ZUSTAND
Yaskawa Motoman JARCR-XOI02B REV. A0 TOP ZUSTAND
Siemens Sinumerik 6FX1121-4BA03 570214.9301.00 UNUSED & OVP
Cognex IS7210 Kamera P/N: 825-0528-1R E KCC-REM-CGX-1AAA TOP ZUSTAND
SEW Movitrac B MC07B0005-5A3-4-S0/FSC11B TESTED & TOP ZUSTAND
NIDEC CONTROL TECHNIQUES Unidrive M M702-054 00270 A M702-05400270A UNUSED OVP
Siemens 6FX1130-5BB10 5703059002.11 NEUWERTIG
ELAU Servomotor SM 100-50-030-P0-45-S1-B1 19203501-002 TESTED & TOP ZUSTAND
Lenze E94AYCPM Profibus HW 1C SW 01.11 NEUWERTIG
Phoenix Contact übergabemodul No. 2962612 UM 45-FLK50 TOP ZUSTAND
Siemens 6ES5373-0AA41 6ES5 373-0AA41 EPROM 32KB UNUSED
Siemens OP77B 6AV6 641-0CA01-0AX1 6AV6641-0CA01-0AX1 E.St.14 TESTED
SEW Eurodrive MXS80A-060-503-00 MOVIAXIS TESTED & NEUWERTIG
Siemens 6ES5377-0AA21 RAM 32KB TOP ZUSTAND
Omron LY2N Power Relais Sicherheitsrelais 110VAC TOP ZUSTAND
Lenze Resolverkabel 3m EYF0017A0050F01S02 TOP ZUSTAND
K-Tron K-VISION 0000010266 Touch Panel TESTED & NEUWERTIG
Siemens Sinumerik OP012 6FC5203-0AF02-0AA1 Ver.H TESTED & TOP ZUSTAND
- 功能特點(diǎn)：
- 半導(dǎo)體工藝控制設(shè)備通常用于確保半導(dǎo)體制造過程中的性和穩(wěn)定性。
- 具有高精度測量、自動(dòng)化控制、數(shù)據(jù)處理等功能特點(diǎn)。
- 應(yīng)用場景：
- AMAT的半導(dǎo)體工藝控制設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、集成電路生產(chǎn)等領(lǐng)域。
- 具體應(yīng)用場景可能涉及光刻、刻蝕、薄膜沉積、清洗、CMP等半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。
還被用于提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本、提升產(chǎn)品質(zhì)量等方面。
- 控制系統(tǒng)：設(shè)備可能配備先進(jìn)的控制系統(tǒng)，用于控制設(shè)備的各項(xiàng)參數(shù)和操作。這包括溫度、壓力、氣體流量、電源供應(yīng)等關(guān)鍵參數(shù)。
- 處理單元：設(shè)備包含多個(gè)處理單元，用于執(zhí)行不同的半導(dǎo)體制造步驟，如光刻、刻蝕、薄膜沉積等。
- 監(jiān)測與反饋系統(tǒng)：設(shè)備配備高精度的監(jiān)測與反饋系統(tǒng)，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測處理過程中的各項(xiàng)參數(shù)，并根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整，以確保處理效果的一致性和穩(wěn)定性。
- 初始化：設(shè)備啟動(dòng)后，控制系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行初始化操作，設(shè)置初始參數(shù)并檢查設(shè)備狀態(tài)。
- 參數(shù)設(shè)置：根據(jù)生產(chǎn)需求和半導(dǎo)體材料的特性，操作人員會(huì)通過控制系統(tǒng)設(shè)置合適的工藝參數(shù)，如溫度、壓力、氣體流量等。
- 處理過程：在處理單元中，半導(dǎo)體材料會(huì)按照預(yù)設(shè)的工藝參數(shù)進(jìn)行處理。例如，在光刻步驟中，設(shè)備會(huì)使用特定的光源和掩膜對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行曝光；在刻蝕步驟中，設(shè)備會(huì)使用刻蝕氣體和等離子體對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行刻蝕。
- 監(jiān)測與調(diào)整：在整個(gè)處理過程中，監(jiān)測與反饋系統(tǒng)會(huì)實(shí)時(shí)監(jiān)測處理參數(shù)和處理效果。如果發(fā)現(xiàn)任何異常情況或偏離預(yù)設(shè)值的情況，系統(tǒng)會(huì)立即進(jìn)行調(diào)整或發(fā)出警報(bào)，以確保處理過程的穩(wěn)定性和可靠性。
結(jié)束與檢查：處理完成后，設(shè)備會(huì)進(jìn)行自動(dòng)檢查或提示操作人員進(jìn)行檢查。檢查內(nèi)容包括但不限于半導(dǎo)體材料的外觀、尺寸、性能等。如果檢查結(jié)果符合要求，設(shè)備會(huì)進(jìn)入下一個(gè)生產(chǎn)周期；否則，設(shè)備會(huì)進(jìn)行必要的調(diào)整或維修。
