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AMAT 0225-09267

技術(shù)規(guī)格

• 型號(hào)：LINTEC氣體流量計(jì)LM-1100M-7 TEOS
• 測(cè)量范圍：TEOS 0.2g/min
• 分辨率：16bit
• 壓力范圍：6bar
• 工作溫度：-40℃~75℃
• 功耗：>1.2W
• 防護(hù)等級(jí)：40
• 響應(yīng)時(shí)間：100ms

功能特點(diǎn)

• 高精度：16bit的分辨率確保了測(cè)量的高精度。
• 寬溫工作范圍：適用于-40℃~75℃的工作環(huán)境，適應(yīng)性強(qiáng)。
• 高防護(hù)等級(jí)：防護(hù)等級(jí)達(dá)到40，可以在較為惡劣的環(huán)境下工作。
• 快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間僅為100ms，可以及時(shí)反映氣體流量的變化。

應(yīng)用場景

由于其高精度、寬溫工作范圍和高防護(hù)等級(jí)等特點(diǎn)，適用于需要測(cè)量氣體流量的各種場景，如：

• 半導(dǎo)體制造：在PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等工藝中，用于控制反應(yīng)氣體的流量。
• 真空系統(tǒng)：在真空系統(tǒng)中，用于監(jiān)測(cè)和控制氣體的流動(dòng)，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

• 化學(xué)工業(yè)：在化學(xué)反應(yīng)過程中，用于測(cè)量和控制反應(yīng)氣體的流量，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

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