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GE 0090-04266 是由 GE 旗下 VMIC 系列設(shè)計(jì)的 6U VME 單板計(jì)算機(jī)，專為 Applied Materials 半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套。板卡以高可靠性和實(shí)時(shí)控制能力著稱，可直接替換 Centura、Endura、Producer 等平臺的原有 CPU 板，實(shí)現(xiàn)無縫升級。
技術(shù)規(guī)格
• 處理器：800 MHz Pentium 級 CPU
• 內(nèi)存：512 MB 板載 SDRAM
• 存儲接口：CompactFlash 或 DOM 插座，用于本地操作系統(tǒng)與應(yīng)用程序鏡像
• 通信接口：
– 雙路 10/100 Mbit 以太網(wǎng)（RJ45）
– RS-232 / RS-485 串口
– USB 1.1 主機(jī)端口
– PMC 擴(kuò)展槽，可插 I/O 或運(yùn)動(dòng)控制子卡
• 電源需求：5 V DC ±5 %、12 V DC ±10 %，由 VME 背板統(tǒng)一供電
• 工作溫度：0 °C ～ 60 °C（工業(yè)風(fēng)冷環(huán)境）
• 機(jī)械尺寸：6U VME 標(biāo)準(zhǔn)，233 mm × 160 mm
• 三防涂層：標(biāo)準(zhǔn)潔凈室級敷形涂層，抗腐蝕、防潮
功能特點(diǎn)
• 實(shí)時(shí)控制與數(shù)據(jù)采集：支持等離子體、CVD、PVD、刻蝕等工藝模塊的毫秒級控制
• 冗余網(wǎng)絡(luò)：雙以太網(wǎng)口支持主/備網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)，提高通信可靠性
• 看門狗與溫控：板載看門狗定時(shí)器和溫度傳感器，實(shí)現(xiàn)故障預(yù)警與預(yù)測性維護(hù)
• 熱插拔 CF 卡：現(xiàn)場可快速更換系統(tǒng)鏡像，便于軟件升級與版本回退
• 金手指邊緣連接：高可靠性抗振動(dòng)、抗熱循環(huán)設(shè)計(jì)，保障長期無故障運(yùn)行
應(yīng)用場景
• Applied Materials Centura、Endura、Producer 等工藝平臺晶圓加工控制
• 半導(dǎo)體廠務(wù)自動(dòng)化：子 fab 及 mini-environment 控制器
• 老舊 6U VME 系統(tǒng)改造：無需修改機(jī)械結(jié)構(gòu)或軟件接口即可替換原 CPU 板
• 晶圓檢測、量測、離子注入等需要確定性 I/O 時(shí)序的 OEM 設(shè)備
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